深圳技术大学微纳加工中心工艺设备安装配套系统意向公开

招标预告广东省

公告内容

深圳技术大学微纳加工中心工艺设备安装配套系统意向公开

采购单位:	深圳技术大学
项目名称:	微纳加工中心工艺设备安装配套系统
预算金额（元）:	3,400,000.000
采购品目:	其他试验仪器及装置
采购需求概况:	1.EBL ：排风、电力、给排水、大宗气体1套；2.Stepper ：排风、电力、给排水、大宗气体1套；3.自动涂胶显影机：排风、电力、给排水、大宗气体1套；4.激光直写光刻机：电力、给排水、大宗气体1套；5半自动接触对准光刻机：电力、给排水、大宗气体1套；6.晶圆键合机：排风、电力、大宗气体1套；7.等离子体清洗机：排风、电力、给排水、大宗气体1套；8.喷胶机：排风、电力、给排水、大宗气体1套；9.HMDS真空烘箱：排风、电力、大宗气体1套；10.无氧烘箱：排风、电力、给排水、大宗气体1套；11.通风橱：排风、电力、给排水、大宗气体4套；12.显影清洗机：排风、电力、给排水、大宗气体1套；13.手动显影清洗机：排风、电力、给排水、大宗气体1套；14.半自动显影清洗机：排风、电力、给排水、大宗气体1套；15.洁净烘箱1(MOLWG-288)：排风、电力、大宗气体2套；16.洁净烘箱2(MOLWG-120)：排风、电力、给排水、大宗气体1套；17.清洗甩干机1：排风、电力、给排水、大宗气体2套；18.DRIE：排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套；19.RIE ：排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套；20.ICP介质：排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套；21.ICP金属：排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套；22.ICP III-V ：排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套；23.Asher：排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套；24.XeF2：排风、电力、大宗气体&特气、尾排1套；25.ICPCVD：排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套；26.PECVD：排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套；27.ALD：排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套；28.IBE：排风、电力、给排水、大宗气体、尾排1套；29.CAIBE：排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套；30.Sputter(金属)：排风、电力、给排水、大宗气体、尾排1套；31.Sputter（介质）：排风、电力、给排水、大宗气体、尾排1套；32.E-beam蒸镀1：排风、电力、给排水、大宗气体、尾排1套；33.E-beam蒸镀2：排风、电力、给排水、大宗气体、尾排1套；34.光学电子束蒸发镀膜机：排风、电力、给排水、大宗气体、尾排1套；35.热蒸镀：排风、电力、给排水、大宗气体、尾排1套；36.RTP：排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套；37.台阶仪：电力、大宗气体1套；38.薄膜应力仪：排风、电力、大宗气体1套；39.椭偏仪：电力、大宗气体1套；40.AFM：电力、大宗气体1套；41.FIB：电力、给排水、大宗气体1套；42.SEM：电力、给排水、大宗气体1套；43.离子溅射仪：电力、大宗气体1套；44.解胶机：电力1套；45.超声扫描显微镜：电力、给排水、大宗气体1套；46.贴膜机：电力、大宗气体1套；47.激光隐切（DSI-S-TC9221）：排风、电力、给排水、大宗气体1套；48.化合物激光隐形切割：排风、电力、大宗气体1套；49.晶圆裂片机：电力、给排水、大宗气体1套；50.划片机：排风、电力、给排水、大宗气体1套；51.划片清洗机：排风、电力、给排水、大宗气体1套；52.CMP (POLI-500)：排风、电力、给排水、大宗气体1套；53.CMP后清洗设备TSC-100C：排风、电力、给排水、大宗气体1套；54.减薄机IVG-3020：排风、电力、给排水、大宗气体1套；55.扩膜机：电力、大宗气体1套；56.抛光机TAP-500：排风、电力、给排水、大宗气体1套；57.贴蜡机TWB-1260V：电力、给排水、大宗气体1套；58.清洗甩干机：排风、电力、给排水、大宗气体2套；59.湿法刻蚀：排风、电力、给排水、大宗气体1套；60.化学刻蚀清洗台1：排风、电力、给排水、大宗气体1套；61.化学刻蚀清洗台2：排风、电力、给排水、大宗气体1套；62.湿法刻蚀清洗机：排风、电力、给排水、大宗气体1套；63.洁净烘箱2(MOLWG-120)：排风、电力、给排水、大宗气体3套；64.临界点干燥：排风、电力、大宗气体1套；65.半自动掩模版清洗机：排风、电力、给排水、大宗气体1套；66.湿法氧化炉（VCSEL）：排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套；67.卧式LPCVD：排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套；68.高温烤盘炉：排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套；69.H2纯化器：排风、电力、大宗气体&特气1套；70.大流量氢气发生器(2)：排风、电力、给排水、大宗气体&特气1套。
联系人:	吴国才
联系电话:	注册后查看
预计采购时间:	2025-04
备注:	无