深圳大学玻璃通孔清洗系统意向公开

招标预告广东省

公告内容

采购单位:	深圳大学
项目名称:	玻璃通孔清洗系统
预算金额（元）:	8,000,000.000
采购品目:	电子工业生产设备
采购需求概况:	该项目需包含清洗设备和强碱供液系统。该项目所含的清洗设备用于硅片或玻璃基板的湿法清洗，需满足标准RCA（SC1/SC2）工艺要求；清洗设备需具备多槽式设计，支持去离子水冲洗、氮气干燥等功能；清洗设备需具备板级及晶圆级兆声系统、超声系统、清洗系统、干燥系统、自动传送系统，清洗设备兆声清洗功率需≥1200W，且所有系统均兼容8英寸晶圆和510mm*515mm玻璃基板。该项目所含的强碱供液系统用于玻璃通孔的湿法清洗与刻蚀。
预计采购时间:	2025-5
联系人:	陈老师
联系电话:	注册后查看
备注:	无