当前位置：首页 > 招标预告>上海大学2025年08月政府采购意向
招标预告
上海市
公告内容
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2****0〕1**$3号）等有关规定，现将上海大学2****5年0**$3月政府采购意向如下：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 步进式光刻机（Stepper） | Stepper设备为步进式光刻机，核心功能用来实现晶圆线路图形化光刻,将掩膜版上设计的超精细电路图形，通过高精度投影光学系统，利用I线光源，分步重复曝光的方式，精确地转移到涂有光刻胶的硅晶圆表面。这一过程实现了芯片上微米级电路图案的定义，其极高的分辨率和套刻精度是制造先进制程芯片的关键。主要技术指标：晶圆尺寸：8inch；视场：3**$3mm*5**$3.5mm；分辨率：0.5 μm；照度：≥1****0mW/cm2；照度均匀性：≤3%；计量精度：≤2%；套刻精度：≤0.3**$3μm。2年质保，供货期8个月。 | 3注册后查看0.0**$3 | 2****5-0**$3 |
上海大学
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