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招标预告 上海市

公告内容

光阻膜层检测设备
项目所在采购意向: 上海大学2****5年0**$3月政府采购意向
采购单位: 上海大学
采购项目名称: 光阻膜层检测设备
预算金额: 1***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
采购需求概况:
需要采购一套光阻膜层检测设备,主要技术参数包括:1)标准工作模式:至少9种操作模式;2)扫描器:X,Y,Z三轴分离式闭环扫描器,扫描范围 :5**$3×5**$3×1**$3μm,XY横向分辨率≤0.2nm,Z纵向分辨率≤0.0***5nm;3)光谱范围;≥1***0-9***0nm;4)单点测量时间:<1**$3秒。
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。



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