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招标预告
黑龙江省
公告内容
| 外延厚度与微结构分析系统 | |
| 项目所在采购意向： | 哈尔滨工业大学 （深圳）外延厚度与微结构分析系统意向公开 |
| 采购单位： | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 采购项目名称： | 外延厚度与微结构分析系统 |
| 预算金额： | 280.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | 光学式分析仪器 |
| 采购需求概况： | 采购一台傅里叶变换红外光谱仪和一套微纳结构检测系统：傅里叶变换红外光谱仪用于外延层厚度分析，支持最大晶圆尺寸8英寸，膜厚测量范围覆盖1μm~200μm，测试精度不低于±0.1μm；微纳结构检测系统支持最大晶圆尺寸6英寸，单次分析区域面积不小于90μm x 90μm，最大可分析深度不小于10μm。 |
| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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