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招标预告
黑龙江省
公告内容
| 等离子增强原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 哈尔滨工业大学 （深圳）等离子增强原子层沉积设备意向公开 |
| 采购单位： | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 采购项目名称： | 等离子增强原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 410.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 用于沉积新型半导体器件所需的栅氧层，包括Al2O3、AlN、HfO2等。设备需配置8路前驱体源，包括4路液体源、2路加热源、1路臭氧源和1路有毒或易燃气体源；配置2套反应腔；支持最大晶圆尺寸8英寸；栅氧层沉积最小厚度≤2nm；等离子发生器功率≥300W；反应室最高工艺温度≥500°C。 |
| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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