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公告内容

荧光寿命测量系统
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 荧光寿命测量系统
预算金额: 3***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看3物理光学仪器
采购需求概况:
开展超快时序光学测量的光谱仪设备,包括条纹变像管,高灵敏度CCD探测器和单色仪等部分,具体参数要求为:光谱相应范围覆盖3***0-8***0nm;时间分辨率优于3ps;兼具快扫(5**$3-1***0MHz)和慢扫(0.1-1MHz)两种模式
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

FIB扫描电子显微镜双束系统
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: FIB扫描电子显微镜双束系统
预算金额: 9***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看1显微镜
采购需求概况:
**$3;拟购FIB扫描电子显微镜双束系统1套。主要技术指标: 1、离子束镜筒:液态Ga离子源;分辨率≤3.0nm@3**$3kV;加速电压0.5-3**$3KV(1**$3V步进);束流1pA-1***0nA;寿命≥3****0μAh;支持实时边切边看。2、电子束镜筒:肖特基场发射灯丝;分辨率≤0.7nm@1**$3KV、≤1.2nm@1KV(非减速模式);加速电压0.0**$3-3**$3KV(着陆电压2**$3eV-3**$3keV);束流稳定性优于0.2%/h。3、探测器:样品室+镜筒内独立二次电子探测器(镜筒内无需偏压)、环形背散射探测器、2个红外/彩色CCD相机;支持双通道同时成像。4、能谱仪:SDD硅漂移探测器(1***0mm2,超薄窗);元素范围Be4-Cf9**$3;能量分辨率Mn Ka≤1***7eV、F Ka≤6**$3eV、C Ka≤5**$3eV(@1***0,0***0cps,符合ISO 1注册后查看2:2****2);软件控制自动伸缩。5、质保:自验收合格之日起两年;6、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

化学机械平坦化系统
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 化学机械平坦化系统
预算金额: 9***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看3工艺试验机
采购需求概况:
**$3;拟购化学机械平坦化系统1套。主要技术指标: 1、加工尺寸: 支持4、6、8英寸;2、抛光头转速:最大转速≥2***0 rpm;误差±1%;3、抛光头采用直驱电机。加压方式:分区加压控制;4、抛光头分区:8寸抛光头5zone ;6寸抛光头4zone:4寸抛光头 2zone;5、质保:自验收合格之日起两年;6、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

激光直写系统
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 激光直写系统
预算金额: 7***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看3工艺试验机
采购需求概况:
**$3;拟购激光直写系统1套。主要技术指标: 1、最小线宽:≤3***0±5**$3nm(最小光栅周期:≤6***0nm) ;2、线宽均匀性:≤5**$3nm(3σ)@ 3***0nm 分辨率;3、线粗糙度:≤3**$3nm(3σ)@ 3***0nm分辨率;4、正面对准精度≤2***0nm (平均值);5、质保:自验收合格之日起两年;6、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

原子层刻蚀系统
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 原子层刻蚀系统
预算金额: 5***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看3工艺试验机
采购需求概况:
**$3;拟购原子层刻蚀系统1套。主要技术指标: 1、8英寸向下兼容;2、射频:频率1**$3.5**$3MHz,上射频额定功率≥1****0W,下射频额定功率≤3***0W;3、配备ALE快速切换阀,响应时间<3**$3ms;4、气路总数可达8路,每路入口配有截止阀;5、质保:自验收合格之日起两年;6、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

误码率分析仪
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 误码率分析仪
预算金额: 5***6.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看5集成电路参数测量仪
采购需求概况:
**$3;拟购误码率分析仪1台。主要技术指标: 1、支持2-6**$3GBd的码型产生;2、支持NRZ,PAM4编码方式;支持PRBS7,PRBS1**$3,PRBS3**$3,PRBS5**$3输出;3、时钟抖动小于3***0fs;4、输出幅度为5**$3 mV 至 0.8 Vpp (单端);1***0 mV 至1.6 V 差分;5、质保:自验收合格之日起两年;6、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

电子束蒸镀机
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 电子束蒸镀机
预算金额: 4***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看3工艺试验机
采购需求概况:
**$3;拟购电子束蒸镀机1台。主要技术指标: 1、温度可以高达1****0摄氏度,误差为+/-1%;2、8”晶圆薄膜沉积均匀性可以达到σ< 1.0%, 4**$3Pts 5mmEE。3、设备可以运行最大8”晶圆,并向下兼容;4、设备预留多个功能模块位置,可以方便升级,添加其他功能模块,如磁控溅射、离子刻蚀、PLD等;5、质保:自验收合格之日起两年;6、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

脉冲激光沉积系统
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 脉冲激光沉积系统
预算金额: 4***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看3工艺试验机
采购需求概况:
**$3;拟脉冲激光沉积系统1台。主要规格参数:1、抽气系统包括进口分子泵(抽速≥6***0 L/s)和进口涡旋干泵(抽速≥3.1 L/s),腔体与分子泵之间配有气动闸板阀,本底真空度优于9E-7Pa;2、靶台:靶材尺寸及数量:φ2英寸×3 个;每个靶材均可实现自转、公转,自转速率≤1**$3 RPM,由电机控制;可在公转方向上摆动扫描,以实现激光对靶材的均匀烧蚀;3、配备进口RHEED电子枪,电子枪能量最高可达3**$3 KeV,工作气压最高可达0.4 Torr(5**$3 Pa);4、配备进口ICP离子源,RF电源功率大于5***0w,流量计1**$3sccm;5、质保:自验收合格之日起两年;6、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

大带宽高速时域信号调制分析仪
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 大带宽高速时域信号调制分析仪
预算金额: 3***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看5集成电路参数测量仪
采购需求概况:
**$3;拟购大带宽高速时域信号调制分析仪统1台。主要技术指标: 1、2通道模拟实时带宽≥5**$3GHz;2、2通道实时采样率≥2***0GS/s;3、存储深度 ≥5**$3M;4、质保:自验收合格之日起两年;5、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

反应离子刻蚀机
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 反应离子刻蚀机
预算金额: 3***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看3工艺试验机
采购需求概况:
**$3;拟购反应离子刻蚀机1台。主要规格参数:1、设备8英寸并向下兼容;2、可实现对Ⅲ-Ⅴ族材料以及硅基材料的低损伤刻蚀;对SiO2的刻蚀:刻蚀速率>2**$3nm/min;3、最大刻蚀深度<1mm,对PR的选择比>2.5:1,侧壁倾角8**$3±2°;4、8英寸范围内刻蚀均匀性<±3%;5、质保:自验收合格之日起两年;6、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

存储器芯片测试系统
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 存储器芯片测试系统
预算金额: 3***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看5集成电路参数测量仪
采购需求概况:
**$3;拟购存储器芯片测试系统1套。主要规格参数:1、覆盖8*8阵列芯片的测试,配置1**$3个SMU通道;2、任意波形发生器:1**$3Bit,8通道,每条通道2G样点波形存储深度,采样率1**$3GS/s;3、源表:2通道,2***0V,测量分辨率0.1fA/1***0nV;4、最小脉宽:4***0 ps5、示波器:8个模拟通道,6**$3.5M记录长度,2.5G带宽;6、质保:自验收合格之日起两年;7、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

频谱分析仪
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 频谱分析仪
预算金额: 2***4.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看5集成电路参数测量仪
采购需求概况:
**$3;拟购频谱分析仪1台。主要规格参数:1、频率范围不小于2hz-2**$3.5GHz;2、实时频谱分析带宽不低于5***0MHz;3、总体幅度精度±0.2**$3dB;4、质保:自验收合格之日起两年;5、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

等离子体增强化学气相沉积系统
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 等离子体增强化学气相沉积系统
预算金额: 2***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看3工艺试验机
采购需求概况:
**$3;拟购等离子体增强化学气相沉积系统1套。主要规格参数:1、反应腔室1套,真空获得系统1套;2、下电极1套;射频电源及匹配器1套,频率1**$3.5**$3MHz;3、真空检测系统1套;电气控制系统 1套;控制软件 1套;3、选配loadlock自动传输系统;4、选配4***0kHz低频射频电源;5、质保:自验收合格之日起两年;6、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

矢量网络分析仪
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 矢量网络分析仪
预算金额: 2***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看5集成电路参数测量仪
采购需求概况:
**$3;拟购矢量网络分析仪1台。主要技术指标:1、频率范围不低于1**$3MHz-4**$3.5GHz;2、端口数量4个;系统动态范围1***9dB;3、噪声电平≤-1***0dBm;4、相位噪声≤-1***9dBc/Hz(@1**$3KHz频偏);5、迹线噪声 1GHz到4**$3GHz 幅度< 0.0***8 dB,相位< 0.0**$3°;6、质保:自验收合格之日起两年;7、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

功率器件分析仪
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 功率器件分析仪
预算金额: 1***8.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看3功率计
采购需求概况:
**$3;拟购功率器件分析仪1台。主要技术指标:1、具有高电压高电流IV测量功能,最大电流1****0A,最大电压3KV,且可在1****0A和3KV之间进行自动切换;2、超大电流模块,最大电流±1****0A(脉冲),电流测量分辨率为:2mA,最大输出电压±6**$3V,输出脉冲宽度可设置范围为1**$3us至0.5ms;3、栅极最大输出电压:±3**$3V,最大输出电流:±1A(脉冲模式),±0.1A(DC),最小电流测量分辨率:1**$3pA4、高压模块性能:最大输出电压范围±3KV,最大输出电流:±8mA;电流测量最小分辨率为:1**$3fA;5、质保:自验收合格之日起两年;6、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

金相显微镜
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 金相显微镜
预算金额: 1***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看1显微镜
采购需求概况:
**$3;拟购金相显微镜4台。主要技术指标:1、光学系统及变焦比:设备需采用远心光学系统,变焦比或变倍比≥1**$3倍。2、配备不少于4个物镜,放大倍数及参数要求如下:3倍镜头,放大倍数范围需涵盖4**$3X-4***0X,数值孔径NA≥0.0**$3,工作距离WD≥3**$3mm1**$3倍镜头, 放大倍数范围需涵盖1***0X-1****0X,数值孔径NA≥0.3**$3,工作距离WD≥3**$3mm2**$3倍镜头, 放大倍数范围需涵盖3***0-2****0X,数值孔径NA≥0.4**$3,工作距离WD≥2**$3mm4**$3倍镜头,放大倍数范围需涵盖6***0-5****0X,数值孔径NA≥0.8**$3,工作距离WD≥4.5mm3、观察方式包含但不限于:明场、暗场、偏光、明场+暗场、斜射、阴影浮雕、微分干涉;4、最大样品高度≥7**$3mm。5、图像采集模块:可采集2D和3D表面形貌图像,可实现2D和3D图像自动拼接功能,获得样品高倍整体形貌;6、质保:自验收合格之日起两年;7、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

相位噪声分析仪
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 相位噪声分析仪
预算金额: 1***8.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看5集成电路参数测量仪
采购需求概况:
**$3;拟购相位噪声分析仪1台。主要技术指标:1、相位噪声测量载波频率范围不小于1MHz-5**$3GHz;2、相位噪声测量频偏可达1GHz;3、可完成测试功能包括瞬态测试、VCO测试、AM噪声测试和Alan方差测试;4、相位噪声测量SSB相位噪声、杂散信号、时间抖动;5、质保:自验收合格之日起两年;6、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

椭偏仪
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: 椭偏仪
预算金额: 1***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看4光学测试仪器
采购需求概况:
**$3;拟购椭偏仪1台。主要技术指标:1、测量能力: 全穆勒矩阵 1**$3 个元素、偏振光谱 Psi/Delta、折射率、厚度、双折射 及介电常数等;2、光谱范围: 2***0nm-1****0nm;3、膜厚重复性精度: ≦ 0.0***5nm (1***0nm SiO2/Si, 3**$3 repeats, 1σ) ;膜厚测量精度: <0.5 nm (1***0nm SiO2/Si);4、折射率重复性精度: ≦ 0.0****5nm(n@6***2.8nm,1***0nm SiO2/Si, 3**$3 repeats, 1σ) ;5、激光定焦:采用激光测距仪精准探测最佳焦距,实现样品 Mapping 快速扫描测量,采用 x/y 型 Mapping 扫描台,支持 2/4/6/8 寸样件多点定位自动扫描测量,软件一键生成 二维/三维膜厚分布图;6、质保:自验收合格之日起两年;7、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

GPU服务器
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: GPU服务器
预算金额: 1***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看4服务器
采购需求概况:
**$3;拟购GPU服务器1台。主要技术指标:1、4颗X8**$3架构CPU, 2.1G, 4**$3C/9**$3T;2、1TB 内存;1**$3块3.8**$3TB SSD;3、2个万兆光口;4、4个4**$3G显存高端AI计算GPU卡;5、满配冗余电源风扇,含上架导轨;6、质保:自验收合格之日起两年;7、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。**$3;
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

ESD测试系统
项目所在采购意向: 华中科技大学2****5年8月政府采购意向
采购单位: 华中科技大学
采购项目名称: ESD测试系统
预算金额: 1***4.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看5集成电路参数测量仪
采购需求概况:
拟购ESD测试系统1套。该系统包括半导体器件及ESD测试平台、中脉冲宽度扩展器及手动探头。主要技术指标:1、半导体器件及ESD测试平台:支持短路电流最大4**$3A ;支持开路电压最大2KV;支持上升时间1**$3ns;支持脉冲宽度1***0ns;支持封装级、晶圆级测试;提供自动测试软件;提供数据分析软件;支持升级VF-TLP/HBM/HMM。2、中脉冲宽度扩展器:短路电流最大4**$3A ;开路电压最大2KV;上升时间1**$3ns;脉冲宽度1***0ns。3、手动探头:探针台主机大小4英寸;移动精度1**$3 微米;三目体式显微镜;目镜倍率2**$3倍;放大倍率1**$3倍~1***0倍;2***0万像素高清CCD成像系。4、质保:自验收合格之日起两年;5、售后:所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后4**$3小时上门服务、4**$3小时内排除故障。
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。



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