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招标预告
广东省
公告内容
|项目概况
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[2025]042号 | ||
| 项目名称 | 中山大学材料学院混合集成芯片先导线多功能真空离子镀膜机采购项目 | ||
| 申购主题 | 多功能真空离子镀膜机 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | *** |
| 最高限价 | 999,000.00(人民币) | ||
| 报名及响应开始时间 | 2025-04-15 11:46 | 报名及响应结束时间 | 2025-04-21 09:00 |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 王老师 | 经办人电话 | 84115092 |
| 期望收货时间 | 合同签订后50天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | 中山大学深圳校区材料学院工学院1栋B110 |
| 电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://bidding.sysu.edu.cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。6、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属于国务院关税税则委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（1+本项目通知磋商谈判开始时间的国务院关税税则委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。 | ||
|采购明细
| 1采购设备 | 多功能真空离子镀膜机 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 |
“多功能真空离子镀膜机”技术要求
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | ★1.此设备为空心阴极、多弧“二合一”多功能真空离子镀膜机，其中，多弧离子镀镀功能分为带磁过滤和不带磁过滤两种。真空室为八角型（大体布局见附件图纸），可制备氧化铟基、氧化锡基、氧化锌基、氧化钛基、氮化钛基、氮氧化钛等化合物功能膜层，以及铜、铝、镍等金属及合金电极等。 | 非常重要 | 是 | 是 |
| 2 | 2. 空心阴极镀膜功能技术参数：（1）电源部分包括：主束电源（100V/200A 1台；）引束电源（600V/10A）1台；集束线圈电源（30V/20A）2台；枪集束电源（20V/15A）1台。（2）电子枪主体部件由耐热金属、钽管、硼化镧组成，安装在腔室侧壁上，电子束旋转90度后垂直打到位于真空室底部的坩埚中用于制备膜层的原材料上，装卡基板的治具位于腔体正上方。（3）靶基距可调。 | 重要 | 否 | 是 |
| 3 | 3. 多弧离子镀功能技术参数：（1）四台弧电源，每台25V×200A，功率5 kW；加备1台200A备用弧电源。（2）四个弧靶中，有两个永磁磁场弧靶； 靶材尺寸 Φ100×16 mm，弧源头前端外圆部和中心部，分别安装永磁磁场，磁场强度可调整，靶材冷却采用间接方式；另两个为电磁场加永磁场弧靶；靶材尺寸Φ100×25mm，弧源头后端安装电磁线圈，靶材中心部安装永磁磁场，磁场强度可调整，靶材冷却采用直接方式。（3）设置可移动基片位置的装置，以方便调节靶基距。 | 重要 | 否 | 是 |
| 4 | ▲4.有效镀膜范围或样品尺寸不小于210 mm ×210 mm，可兼容硬质衬底和易碎的薄硅片等衬底，样品台能够在水平面内实现 360 度自转，可连续旋转且转速可调≤ 20 rpm。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 5 | ▲5. 基板温控范围：室温至500℃，控温精度±2℃。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 6 | ▲6. 两种功能的靶基距可调范围分别为：空心阴极200-400 mm，多弧180-410 mm，具体可根据实际镀膜调试情况进行调整。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 7 | ★7.镀膜均匀性：空心阴极离子镀，配置膜厚仪，并配置挡板（避免等离子体启辉或薄膜初始沉积阶段对衬底的污染）。选取技术指标1中所述任一化合物薄膜，在膜层厚度5~100 nm下，基板片内镀膜均匀性≤5%；选取技术指标1中所述任一化合物薄膜或电极材料，多弧离子镀（带磁过滤），在膜层厚度50 nm~10 µm下，基板片内镀膜均匀性≤10%。 | 非常重要 | 是 | 是 |
| 8 | 8.工艺腔极限真空度：≤5×10-4 Pa。 | 重要 | 否 | 是 |
| 9 | ▲9.工艺腔本底真空度：≤5×10-3 Pa，从装样（破真空状态）到工艺腔达到本底真空度的等待时间≤15 min。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 10 | 10.腔体氦检漏率：≤5×10-10 Pa.m3/s。 | 重要 | 否 | 是 |
| 11 | 11. 腔体漏气率：＜3×10-1 Pa/小时，停泵24小时后，腔室压力＜5 Pa。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 12 | 12.工艺气体为氩气、氧气、氮气、氢气4路，另预留2个气源接口作为后续其他工艺气体接入，连接到混气罐上，各气路配备独立的流量计搭配手动进气阀和自动进气阀，流量计可PID控制，配合阀门实现自动工艺压力控制；配备匀气装置，保证反应气体均匀稳定。气体质量流量计最小精度≤1 sccm，量程分别为：氩气500 sccm、氧气200 sccm、氮气200 sccm、氢气100 sccm，预留气路200 sccm。 | 重要 | 否 | 是 |
| 13 | 13.偏压范围：低档0-300 V；高档0-800 V； | 重要 | 否 | 否 |
| 14 | 14. 脉冲偏压电源功率10 kW。（频率40 kHz，占空比0-80%，低档500 V，高档1000 V） | 重要 | 否 | 否 |
| 15 | 15.整机冷却通过水冷式冷水机进行冷却，冷水机功率15P，冷却效果良好，不会对环境温度产生影响。 | 重要 | 否 | 否 |
| 16 | 16.每种镀膜功能都有合适的外观察窗，可观察等离子体环境和衬底上的镀膜状态，观察窗配手动挡板。 | 重要 | 否 | 否 |
| 17 | 17. 工艺过程由触摸屏和计算机一体式＋PLC全自动控制，直接在触摸屏上操作；操作人员可自定义编辑沉积流程菜单，并方便调取和导入机台控制系统。 | 重要 | 否 | 否 |
| 18 | 18. 腔体为耐腐蚀材质。 | 重要 | 否 | 是 |
| 19 | 19.软件及其功能①提供控制机以及各种与仪器连接的接口等硬件设备； ②提供自动化操作软件，具有自动化控制功能； ③主机自动化控制软件具有调用并控制分机沉积工艺程序功能； ④能自动化地控制温度，包括加热器温度的监测、设定及升降温速率控制； ⑤能自动化地控制样品台旋转的方向和转速； ⑥能自动化地进行参数记录，包括实时记录系统的各项参数如真空度、温度、气体流量等； ⑦能设置急停设备，以防止出现特殊情况； 软件预留手动操作模式 | 重要 | 否 | 是 |
| 20 | 20.配置清单①真空室1个；（水带式水冷，含两层内衬板，20kW加热器） ②真空机组：螺杆式干式泵1台；罗茨泵1台；磁悬浮分子泵1台；插板阀1个；粉尘过滤器1套；前级阀1个；预抽阀1个；放气阀1个；管道1套 ③炉体支架1套；（80*80*5方钢+100槽钢+冷轧碳钢板焊接组成，炉体支架、气管、水管、电线、电缆桥架一体完成，表面喷塑防腐） ④工件公自转系统1套，附带可用于试验的夹具或载板； ⑤真空测量系统1套，配电离规、热偶规、隔膜规； ⑥水冷控制系统1套； ⑦反应气体气动控制系统1套； ⑧匀气装置1套； ⑨电源：弧电源4台＋备用弧电源1台；脉冲偏压电源1台。电源柜体配置断电支持系统（UPS） ⑩治具1套； ⑪整机控制系统1套； ⑫HCD电子枪及磁偏转和聚焦系统1套； ⑬供电系统1套； ⑭随机配件1套；包含密封圈，油封，轴承，专用工具，随机技术文件等。 ⑮膜厚仪1套。 | 重要 | 否 | 是 |
|资质要求
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) | 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） | 是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） | 是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） | 是 |
|商务要求
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 免费保修年限 | 2年 3年 4年 5年及以上 | 是 |
| 2 | 合同履约 | 该项目必须严格按学校 合同范本执行 下载地址：http://www.wisdombidding.com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 | 否 |
| 3 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 | 是 |
| 4 | 售后服务要求 | 整机保修，包括但不限于空心阴极电源、多弧电源、真空系统、控制系统、镀膜腔体等核心部件，以及保修所需零配件、易损件及软件等。①响应时间：维修响应时间≤12小时，到现场维修时间≤48小时；②软件终身免费维护及升级；③每年对设备进行一次全面的检查、维护及设备校准，确保设备始终处于最佳工作状态；④长期供应设备所需的原厂零配件，确保在设备使用寿命内能及时获得所需零配件，且价格公开透明合理。 | 是 |
| 5 | 培训要求 | ①用户现场免费安装、调试，现场培训不少于2人次，以达到独立操作为标准；②供应商提供中国境内的免费厂家培训，不少于1人次；提供长期的技术支持服务，可随时通过电话、邮件或在线客服联系技术支持团队，获得专业的技术咨询和指导。 | 是 |
| 6 | 关于税率 | ★1、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属于国务院关税税则委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（1+本项目通知磋商谈判开始时间的国务院关税税则委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。 | 是 |
