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招标预告
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公告内容
| 原子层刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 原子层刻蚀设备 |
| 预算金额： | 7***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台腔体尺寸：8英寸兼容；标配4路气体反应物工艺气路；气体管路采用全套3***6L EP不锈钢管路+VCR密封，管路具有在线吹扫功能；本底真空:＜5×1**$3-6 Torr；真空漏率:＜5×1**$3-7 Pa·L/S；反应腔体内腔：内表面整体采用特殊表面处理，可抗HF刻蚀；反应腔体温度:最高4***0℃；片内均匀性：≤±5%；刻蚀深度精度：≤1nm；刻蚀速率：≤1nm/cycle |
| 预计采购时间： | 2****5-1**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 离子束塑形IBS | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 离子束塑形IBS |
| 预算金额： | 8***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台腔体尺寸：8英寸兼容；干泵抽速：≥1***0L/s；刻蚀均匀性：≤1%；样品台偏转范围：-9**$3到+8**$3℃；温度控制范围：5-3**$3℃；刻蚀气体气路：≥6路 |
| 预计采购时间： | 2****5-1**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 超高真空低温扫描探针显微镜 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 超高真空低温扫描探针显微镜 |
| 预算金额： | 1****0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台分辨率：原子分辨率；最低工作温度：≤ 5 K；低温维持时间：≥ 5**$3 h(液氦容积4 L、液氮容积1**$3 L）；可选光学通道，适于光学实验 |
| 预计采购时间： | 2****5-1**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 原子力显微镜 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 原子力显微镜 |
| 预算金额： | 2***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台平面和横截面样品均可，尺寸要求：边长或直径≤2***0 mm/8英寸，高度≤1**$3 mm；单次最大扫描范围（XY）：≤9**$3um × 9**$3um；表面起伏（Z）：≤1**$3um； 噪声水平：≤3**$3pm；热漂移水平：<0.2nm/min |
| 预计采购时间： | 2****5-1**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 近常压低压扫描电子显微镜 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 近常压低压扫描电子显微镜 |
| 预算金额： | 1****0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 空间分辨率5nm；高分辨率模式最大观察视野：≧5mm@5kV；工作距离WD：<9mm；放大倍率：1~2注册后查看0x |
| 预计采购时间： | 2****5-1**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 扫描隧道显微镜（STM） | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 扫描隧道显微镜（STM） |
| 预算金额： | 1****0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台大的扫描范围（5 K条件下1***1;m x1***1;m）和高的分辨率（XYZ分辨5 K下小于0.0**$3 nm）；小磁场（最大0.1 T）；样品直接加热温度> 1****0℃，间接加热> 9***0℃；原位样品处理（加热、氩离子轰击）；原位薄膜样品生长（配备分子束外延腔）； |
| 预计采购时间： | 2****5-1**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电学测量系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 电学测量系统 |
| 预算金额： | 1****0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台-6**$3度3***0度变温；兼容8英寸；高达 3 kV（三轴）/1**$3 kV（同轴）和 2***0 A（标准）/6***0 A（大电流）的精确高压和大电流测量；独特的移动面板，可实现异位打点、全扫描、墨点识别、精度自动校正等。 |
| 预计采购时间： | 2****5-1**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| CPU+GPU计算服务器 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | CPU+GPU计算服务器 |
| 预算金额： | 1***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看4服务器 |
| 采购需求概况： | 单机支持材料大模型推理原生FP8无精度损失单机不少于支持3**$3个用户并发内存不少于 2TB固态存储盘容量不少于3**$3.6 TB三年维保，含软件 |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| GPU机时服务费 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | GPU机时服务费 |
| 预算金额： | 1***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | C1注册后查看0云计算服务 |
| 采购需求概况： | 满足高性能计算、机器学习、深度学习及其他计算密集型计算任务；包含数据存储、网络传输、技术支持及维护服务等附加业务。服务需支持弹性扩展，便于根据任务需求调整GPU资源。单GPU显存不低于6**$3GB，实例间网络带宽不低于1***0Gbps，支持高速数据传输。 |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高通量材料计算机时服务费 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 高通量材料计算机时服务费 |
| 预算金额： | 1***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | C1注册后查看0云计算服务 |
| 采购需求概况： | 单实例CPU节点核心数不低于6**$3核，不低于2.5GHz，内存不低于1TB；实例间网络带宽不低于1***0Gbps，支持高速数据传输；具备提供大规模CPU云服务的经验和能力；服务需保证9**$3.9%以上的可用性，并提供故障快速恢复机制；提供7×2**$3小时技术支持，响应时间不超过1小时；服务需支持弹性扩展，便于根据任务需求调整CPU资源； |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 碳纳米管表征系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 碳纳米管表征系统 |
| 预算金额： | 1***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看4 光学式分析仪器 |
| 采购需求概况： | 连续可调荧光激发波长范围：5***0～8***0 nm高灵敏度近红外荧光检测范围：9***0～1****0 nm（增强型可调谐超连续光源）高功率6***0 nm固定波长激光，功率约3***0 mW吸收光谱范围：4***5～1****0 nm包含国际运输与保险，以及设备安装、调试和培训服务。在收到预付款后 8 个月内交货自设备验收合格之日起免费保修 1**$3 个月采购数量1 台 |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 超速离心机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 超速离心机 |
| 预算金额： | 1***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看1 离心机 |
| 采购需求概况： | 2 台 每台配备两个不同的转头：VTi 5**$3.1 垂直转头与 SW 4**$3 Ti 水平转头主要配置 垂直转头包：含 1**$3 个转头密封垫、扳手、加脂润滑剂、限速盘等配件 水平转头包：含转头、离心管、转头润滑剂、限速盘及常规配件 套件：包含聚丙烯离心管、衬垫、管架及取管工具等 交货期：6**$3 天保修期：1**$3 个 |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 二维材料化学气相沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 二维材料化学气相沉积设备 |
| 预算金额： | 3***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 化学气相沉积设备2台；加热区：三段加热；升温速率：4**$3℃/s；本底真空度：小于1**$3Pa；最高工艺温度：1****0℃；外延尺寸：兼容8英寸晶圆 |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 二维材料有机金属化学气相沉积（MoS2） | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 二维材料有机金属化学气相沉积（MoS2） |
| 预算金额： | 2****0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台垂直式进气方式；样品尺寸满足3**$3*2，6*4，3*6，1*8，1*1**$3：采用直流电源加热，最高加热温度1****0℃，温度偏差小于0.2℃；包含4路硫源MO源，4路钼源MO源和4路气态源；材料种类：n型MoS2；最高工艺温度：1****0℃；外延尺寸：兼容8英寸晶圆。 |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 二维材料有机金属化学气相沉积（WSe2） | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 二维材料有机金属化学气相沉积（WSe2） |
| 预算金额： | 2****0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台垂直式进气方式；样品尺寸满足3**$3*2，6*4，3*6，1*8，1*1**$3：采用直流电源加热，最高加热温度1****0℃，温度偏差小于0.2℃；包含4路硫源MO源，4路钼源MO源和4路气态源；材料种类：p型WSe2；最高工艺温度：1****0℃；外延尺寸：兼容8英寸晶圆。 |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 二维材料真空转移设备（2英寸） | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 二维材料真空转移设备（2英寸） |
| 预算金额： | 2***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台真空度能达到5E-7mbar；最高加热温度为3***0℃，最低温度为1**$3℃，升温速度最高为2℃/s，降温速度最高1.5℃/s，温度偏差小于0.2℃；全自动转移系统，能实现一键操作；能满足2英寸及以下样品的转移；转移破损率小于1%。 |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 二维材料真空转移设备（8英寸） | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 二维材料真空转移设备（8英寸） |
| 预算金额： | 6***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台真空度能达到5E-7mbar；最高加热温度为3***0℃，最低温度为1**$3℃，升温速度最高为2℃/s，降温速度最高1.5℃/s，温度偏差小于0.2℃；全自动转移系统，能实现一键操作；能满足8英寸及以下样品的转移；转移破损率小于1%。 |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 7***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台腔体尺寸：8英寸兼容；基础真空：小于1**$3 Pa；加热控制：5**$3℃-4***0℃；气体接口：不锈钢卡套、NPT螺纹；气体种类：臭氧、氮气、氨气、氩气；前驱体数目：6路液态钢瓶+2路固态钢瓶+4路气体 |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 远程等离子体表面处理机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 远程等离子体表面处理机 |
| 预算金额： | 4***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台腔体尺寸：8英寸兼容；工艺腔本底真空：≤0.5 mTorr；工艺腔漏气率：≤1mTorr/min；工艺控压范围：5-8**$3 mTorr；工艺腔控温范围：室温-1***0℃；上射频电源功率：≥3****0W；下射频电源功率：≥1****0W；配置工艺气体：5路，包括Ar,O2，He,N2，SF6, Cl2 ；分子泵抽速：≥2****0L/s |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 等离子增强化学气相沉积 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 等离子增强化学气相沉积 |
| 预算金额： | 3***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台工艺腔基座：AlN陶瓷加热器；腔体温度：最高可达5***0℃；高频电源功率：≥ 1****0W；低频电源功率：≥ 1****0W；工艺腔本底真空：≤ 2**$3 mTorr；工艺腔体漏率：≤ 5 mTorr/min；工艺气体：N2, He, SiH4, NH3，O2 |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 金属分子束外延 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 金属分子束外延 |
| 预算金额： | 1****0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台腔体尺寸：8英寸兼容；工艺腔体极限真空：小于1×1**$3-1**$3 Torr；超高真空抽气系统：冷凝泵，离子泵，钛升华泵；衬底温度：3***0-8***0℃温度范围可调；片间温度均匀性：≤4℃；样品台旋转速度：4**$3/min；坩埚数目：≥4个；坩埚才离职：PBN；不锈钢氮气吹扫管，配水冷压缩机；镀膜速率：0.1-2nm/s范围可调；高真空铜垫圈密封；Sb金属沉积配置裂解源；蒸发挡板开关次数：≥1***0万次；蒸发挡板开关时间：≤1s |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 金属电子束蒸镀系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 金属电子束蒸镀系统 |
| 预算金额： | 6***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台蒸镀腔极限真空：≤ 1×1**$3-9 Torr；工艺腔体回压率：≥ 1×1**$3-6 Torr·L/s；电子枪功率：1**$3 KW；坩埚蒸发源：≥4；腔体尺寸：8英寸兼容；蒸镀均匀性：片内均匀性≤±5%；蒸发速率：0.0**$3-1nm/s之间可调；蒸镀金属种类：Ti, Au, Ni, Cr, Al |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 离子束沉积 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 离子束沉积 |
| 预算金额： | 9***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台离子沉积源：1***0毫米；沉积区域：不小于2***0毫米； 靶材数量：不少于4个靶材； 基板尺寸：8英寸晶圆；最终产品检测：双晶片监测器或WLOM； 基板旋转：5***0转每分钟；基板倾斜角度：0***6;至7**$3***6;，介于束流和基板表面法线之间； 基板加热：内置加热器，0℃-3***0℃； 基板冷却：流体冷却剂，温度1**$3℃-5**$3℃；辅助或预清洁源：射频离子源 |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 超高真空原子层沉积 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 超高真空原子层沉积 |
| 预算金额： | 6***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台腔体尺寸：8英寸兼容；加热控制：5**$3℃-4***0℃；工艺腔体极限真空：小于1×1**$3-6 Torr；氧化铝均匀性：<1%；前驱体数目：4路液态或者固态反应前驱体，2组等离子体反应气体 |
| 预计采购时间： | 2****5-1**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 等离子刻蚀 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 等离子刻蚀 |
| 预算金额： | 5***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台腔体尺寸：8英寸兼容；工艺腔本底真空：≤0.5 mTorr；工艺腔漏气率：≤1mTorr/min；工艺控压范围：5-8**$3 mTorr；工艺腔控温范围：室温-1***0℃；射频电源功率：≥1****0W；射频电源频率：1**$3.5**$3MHz；配置工艺气体：6路，包括Ar,O2，He,N2，SF6, CF6，Cl2；流量控制：支持6个或更多的MFC’s用于ICP高速刻蚀，带气动截止阀；真空系统：泵组包含涡轮分子泵和旋叶真空泵；分子泵抽速：≥2****0L/s；操作控制：整个系统通过预装的Lab View软件和触摸监控系统，实现PC全自动控制； |
| 预计采购时间： | 2****5-1**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 感应耦合等离子刻蚀 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr2***0注册后查看1注册后查看5年4至1**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr2注册后查看1 |
| 采购项目名称： | 感应耦合等离子刻蚀 |
| 预算金额： | 7***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | A0注册后查看2电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 1台腔体尺寸：8英寸兼容；工艺腔本底真空：≤0.5 mTorr；工艺腔漏气率：≤1mTorr/min；工艺控压范围：5-8**$3 mTorr；工艺腔控温范围：室温-1***0℃；上射频电源功率：≥3****0W；下射频电源功率：≥1****0W；配置工艺气体：6路，包括Ar,O2，He,N2，SF6, CF6，Cl2 ；分子泵抽速：≥2****0L/s |
| 预计采购时间： | 2****5-1**$3 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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