当前位置：首页 > 招标预告>福州大学2025年05月至2025年06月政府采购意向
招标预告
福建省
公告内容
| 福州大学干法刻蚀系统等设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 福州大学2****5年0**$3月至2****5年0**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 福州大学 |
| 采购项目名称： | 福州大学干法刻蚀系统等设备采购项目 |
| 预算金额： | 4**$3.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况： | 采购内容:其他仪器仪表 采购数量:1.0****0台 主要功能或目标:1、仪器设备为刻蚀系统，其任务是支持洁净实验室中的薄膜表面刻蚀和处理任务，支持的表面处理包括各向同性刻蚀和各项异性刻蚀等多种工艺需求，适用于先进电子器件的制备和开发。需在洁净实验室 2**$3 小时不间断运行环境下，保持高稳定性和低故障率，全年理论工作时长超过 1,0***0 小时；2、预期将3路特殊气体从外部接入超净间的干刻蚀设备，并实现特气无害化处理 需满足的要求:1、通过验收后，提供一年质保。 2、与采购的干刻蚀设备匹配，严格预防气体泄漏风险，满足气体无害化排放，提供质保 |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 福州大学干法刻蚀系统等设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 福州大学2****5年0**$3月至2****5年0**$3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 福州大学 |
| 采购项目名称： | 福州大学干法刻蚀系统等设备采购项目 |
| 预算金额： | 1***0.0注册后查看0万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况： | 采购内容:其他仪器仪表 采购数量:1.0****0台 主要功能或目标:1、仪器设备为刻蚀系统，其任务是支持洁净实验室中的薄膜表面刻蚀和处理任务，支持的表面处理包括各向同性刻蚀和各项异性刻蚀等多种工艺需求，适用于先进电子器件的制备和开发。需在洁净实验室 2**$3 小时不间断运行环境下，保持高稳定性和低故障率，全年理论工作时长超过 1,0***0 小时；2、预期将3路特殊气体从外部接入超净间的干刻蚀设备，并实现特气无害化处理 需满足的要求:1、通过验收后，提供一年质保。 2、与采购的干刻蚀设备匹配，严格预防气体泄漏风险，满足气体无害化排放，提供质保 |
| 预计采购时间： | 2****5-0**$3 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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