西安交通大学2025年6至12月政府采购意向

招标预告陕西省

公告内容

晶圆清洗活化键合系统
项目所在采购意向：	西安交通大学 2**5年6至1$3月政府采购意向
采购单位：	西安交通大学
采购项目名称：	晶圆清洗活化键合系统
预算金额：	9***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目：	A0注册后查看0其他仪器仪表
采购需求概况：	本项目采购晶圆清洗活化键合系统（包含兆声清洗机1台、真空等离子体活化机1台、真空晶圆键合机1台）主要用于实现POI（压电材料-绝缘体复合结构）晶圆的精密制造工艺全流程功能。通过兆声清洗机高效去除晶圆表面纳米级颗粒及有机残留，避免传统超声清洗对压电材料的物理损伤；真空等离子体活化机则需实现晶圆表面原子级清洁和化学键激活，提升键合界面能；真空晶圆键合机在高真空环境下完成晶圆常温键合，确保界面无气泡、高均匀性。
预计采购时间：	2**5-0$3
备注：