当前位置:首页 > 招标预告>浙江大学2025年7月政府采购意向
招标预告
浙江省
公告内容
原子层镀膜设备 | |
项目所在采购意向: | 浙江大学2****5年7月政府采购意向 |
采购单位: | 浙江大学 |
采购项目名称: | 原子层镀膜设备 |
预算金额: | 1***0.0注册后查看0万元(人民币) |
采购品目: | A0注册后查看2真空应用设备 |
采购需求概况: | 用于衬底上进行高精度介质膜如Al2O3、HfO2等的薄膜沉积,可实现高深宽比孔/槽的介质膜沉积,薄膜沉积精度可达原子级别。购置1台。通过精确的沉积控制和自动化功能,能够满足半导体、光电子和能源存储等领域科研人员对高精度介质薄膜沉积的需求,符合学科发展需 |
预计采购时间: | 2****5-0**$3 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。