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招标预告 浙江省

公告内容

原子层镀膜设备
项目所在采购意向: 浙江大学2****5年7月政府采购意向
采购单位: 浙江大学
采购项目名称: 原子层镀膜设备
预算金额: 1***0.0注册后查看0万元(人民币)
采购品目:
A0注册后查看2真空应用设备
采购需求概况:
用于衬底上进行高精度介质膜如Al2O3、HfO2等的薄膜沉积,可实现高深宽比孔/槽的介质膜沉积,薄膜沉积精度可达原子级别。购置1台。通过精确的沉积控制和自动化功能,能够满足半导体、光电子和能源存储等领域科研人员对高精度介质薄膜沉积的需求,符合学科发展需
预计采购时间: 2****5-0**$3
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。



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