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招标预告 黑龙江省

公告内容

晶圆浓度测试仪
项目所在采购意向: 哈尔滨工业大学(深圳)晶圆浓度测试仪意向公开
采购单位: 哈尔滨工业大学(深圳)
采购项目名称: 晶圆浓度测试仪
预算金额: 217.000000万元(人民币)
采购品目:
物理特性分析仪器及校准仪器
采购需求概况:
用于测量晶圆或外延层的掺杂浓度和均匀性。测量方式:接触式无损Mapping;测试范围:1E14~1E19 carriers/cm3;测试点位接触重复性:1≤0.2%(面积);施加偏压范围不低于 /-220V。
预计采购时间: 2025-05
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。



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