当前位置:首页 > 招标公告>微波等离子体CVD供气系统(BX20250016号)采购公告
招标公告
福建省
公告内容
项目名称 | 微波等离子体CVD供气系统 | 项目编号 | BX20250016号 |
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公告开始日期 | 2025-03-03 17:19:44 | 公告截止日期 | 2025-03-06 17:00:00 |
采购单位 | 集美大学 | 付款方式 | 货到验收合格后付100% |
联系人 | 登录后可见 | 联系电话 | 登录后可见 |
签约时间要求 | 成交后7个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后15个工作日内 |
预算总价 | ¥ 96000.00 | ||
发票要求 | 增值税普通发票 | ||
收货地址 | 集美大学 | ||
供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购清单1
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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微波等离子体CVD供气系统 | 1 | 套 | 无 |
品牌 | ROTAREX |
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型号 | 定制 |
预算单价 | ¥?96000.00 |
技术参数及配置要求 | 本项目是优普莱UP-510型微波等离子体化学气相沉积机(MPCVD)专用的特气供气系统,包括甲烷(CH4)、氢气(H2)、氧气(O2)、氮气(N2)、氩气(Ar)、压缩空气(CDA)总计6路高纯气体。主要功能要求如下: (1)甲烷气体采用高品质防爆柜(钢板厚度不低于2.5mm),双瓶供气,可自动切换供气,设置气体泄露报警系统,可以自动关闭气路和联动防爆排风; (2)氢气气体采用高品质防爆柜(钢板厚度不低于2.5mm),4瓶50升钢瓶供气,可双瓶自动切换供气,设置气体泄露报警系统,可自动关闭气路和联动防爆排风; (3)氧气、氮气、氩气、压缩空气等采用现有的气路对接进入设备; (4)氢气、甲烷和氧气采用EP级316L不锈钢管道,并桥架施工; (5)所有的接头均采用VCR套件。 具体参数及功能要求见附件。 |
售后服务 | 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:三年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:五年; |
2025-03-03 17:19:44
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