当前位置:首页 > 招标公告>微波等离子体CVD供气系统(BX20250016号)采购公告

招标公告 福建省

公告内容

项目名称 微波等离子体CVD供气系统 项目编号 BX20250016号
公告开始日期 2025-03-03 17:19:44 公告截止日期 2025-03-06 17:00:00
采购单位 集美大学 付款方式 货到验收合格后付100%
联系人 登录后可见 联系电话 登录后可见
签约时间要求 成交后7个工作日内 到货时间要求 签约后15个工作日内
预算总价 ¥ 96000.00 + NaN + NaN
发票要求 增值税普通发票 增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址 集美大学
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明
采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
微波等离子体CVD供气系统 1
品牌 品牌1 ROTAREX
型号 定制
品牌2
型号
品牌3
型号
品牌4
型号
品牌5
型号
品牌6
型号
预算单价 ?96000.00
技术参数及配置要求 本项目是优普莱UP-510型微波等离子体化学气相沉积机(MPCVD)专用的特气供气系统,包括甲烷(CH4)、氢气(H2)、氧气(O2)、氮气(N2)、氩气(Ar)、压缩空气(CDA)总计6路高纯气体。主要功能要求如下:
(1)甲烷气体采用高品质防爆柜(钢板厚度不低于2.5mm),双瓶供气,可自动切换供气,设置气体泄露报警系统,可以自动关闭气路和联动防爆排风;
(2)氢气气体采用高品质防爆柜(钢板厚度不低于2.5mm),4瓶50升钢瓶供气,可双瓶自动切换供气,设置气体泄露报警系统,可自动关闭气路和联动防爆排风;
(3)氧气、氮气、氩气、压缩空气等采用现有的气路对接进入设备;
(4)氢气、甲烷和氧气采用EP级316L不锈钢管道,并桥架施工;
(5)所有的接头均采用VCR套件。
具体参数及功能要求见附件。
参考链接
售后服务 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:三年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:五年;

2025-03-03 17:19:44

报名地址: 点击跳转



附件下载


咨询热线:400-788-2018 © 1998-2022 天天标讯(TTBX)  陕西省西安市经济技术开发区凤城一路15号银象花园6幢11903号  陕ICP备2022006294号-1  陕B2-20220119