南方科技大学SUSTech-JC-2025-00135竞采采购公告

招标公告广东省

公告内容

南方科技大学

SUSTech-JC-2****5-0注册后查看5竞采采购公告

采
购
明
细

序号

名称

数量

单位

兆声清洗系统（核心货物）

台

是否接受进口	拒绝进口
品牌	无推荐品牌
型号	无推荐型号
技术规格及参数	整机及控制模块： 1.1 PLC控制，触摸屏显示，操作简单友好；自由修改、编辑、存储、转移及调用工艺配方 1.2 FFU净化 1.3 设备运行峰值噪音<7$3分贝 1.4 外形尺寸小于10(L)×10(W)×20mm(H) 1.5 电压20V，功率<4kW 湿法清洗模块： 2.1 兆声波频率≥1MHz 2.2 兆声喷头角度可调 2.3 内胆防腐材质，适应各种酸碱及有机溶剂 2.4 清洗时间可调 2.5 漏液防护/监测晶圆旋转模块： 3.1 适用晶圆尺寸4-1*$3inch 3.2 转速可调干燥模块： 4.1 氮气吹干
质保期	1.质保期：设备保修期为一年 2.为保证售后服务质量，设备必须提供制造厂家授权文件和售后服务承诺 3.所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件）
售后要求	必要时需提供现场技术咨询；技术人员现场培训；半年1次的免费仪器保养；保内维修需做到: 软件免费重装，硬件维修。