台阶仪

一.主要技术参数 1. 最大扫描长度≥5**$3mm；2. 测试所允许的最大样品厚度≥5**$3mm；3. 垂直方向的扫描范围≥1****0um； 4. 测试高度方向的重复性≤1nm（1微米的标准台阶）；5. 测试垂直分辨率≤0.1nm6.光学系统：彩色CCD 1***0x放大倍率7.样品台尺寸：不小于8英寸，配置真空吸附功能；具备1**$3nm、1***0nm及1**$3um测试标准块，提供标准块的校准证书；具备主动式气浮减震光学平台，保证设备的稳定性；8. 探针压力范围不小于1-1**$3mg，且可连续调节，能精确控制探针压力，保证在不同力下不破坏样品。9.系统具有超光滑平面,保证扫描基线稳定性1**$3.提供专用分析软件并终身免费升级1**$3．多次扫描分析≥3**$3次1**$3. 仪器采用成熟的LVDT传感器,保证仪器稳定性，数据重复性和可靠性1**$3.单次扫描最大采样点数1***0,0注册后查看4. 标配有快速更换探针附件工具，而不是固定在设备主机上1**$3. 仪器配有环境保护罩，防止静电环境影响1**$3.计算机配置，最新6**$3位，最新win1**$3操作系统酷睿i5处理器， 5***0G硬盘，4G内存，2**$3寸显示器，保证数据处理的流畅1**$3. 具备薄膜应力测量功能二.配置要求1.台阶仪主机一套：包含LVDT传感器、数据处理系统及专用分析软件。2.曲率半径为2μm金刚石探针一根。3.仪器操作手册和维护手册。

按行业标准提供服务