采购江西新闻客户端2025年度合作

主要技术参数：1．处理腔体1.1 Wafer 芯片尺寸至少满足 1**$3-2***0mm 直径的材料，方片 1***5x1***5mm，无需更换片托；1.2 腔体具有易清洁的 NPP 天然聚丙烯材质；2. 转动马达2.1 转动速度至少满足 0-1**$3,0***0rpm，2.2 旋涂加速度不小于 1**$3,0***0rpm/sec；2.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%；3. 控制系统3.1 工艺时间设定范围至少满足 1-5****9.9 sec/step ，设定时间精度不超过 0.1s；3.2 配有高精度 PLC 可编程的控制器；3.3 可存储不少于 2**$3 个程序段，每个程序段可设置不少于 5**$3 个不同步骤的速度状态；3.4 *分辨率不超过 1RPM，重复性误差不超过 1RPM，具有国际标准认证，并且无需再校准；3.5 *配有蓝牙无线连接；3.6 *带自动滴胶、晶圆去边4 安全构造4.1 电子绝缘负载双保护装置；4.2 嵌锁的安全盖板；4.3 防腐装置；4.4 *设有保护气体装置：旋涂过程中可以充氮气或压缩气体，对旋转马达进行气流保护；5 系统附件5.1 * Windows 操作软件；5.2 原装进口水平测试仪； 5.3 两袋密封圈； 5.4 *配有两套可更换的废液接收单元；5.5 配套泵浦

售后服务 1.由原厂提供全新设备(包括零部件)，且设备的各零部件是产品出厂时的原始配置，设备质量符合国家质量检测标准，提供设备校准证书。2、整机一年内同一故障维修两次仍不能正常使用可免费更换。3、免费保修1**$3个月。4、不接受快递物流送货，交货时出具制造商售后服务承诺函；由原厂指派制造单位技术人员，对采购单位的操作、维护人员免费进行技术指导和培训。5、合同设备出现故障时，供应商确保及时维修，并确保在接到用户方服务要求，1小时内做出回应，电话指导不能排除的故障，4小时内现场进行服务。并承诺2**$3小时内修复故障。