当前位置：首页 > 中标结果>光刻机、台阶仪设备采购结果公告
中标结果
山西省
公告内容
| 项目名称 | 光刻机、台阶仪设备采购 | 项目编号 | ZBDXJC-2注册后查看2 | ||
| 公告发布日期 | 2****5/0**$3/1**$3 1**$3:1**$3 | 报价截止时间 | 2****5/0**$3/1**$3 1**$3:1**$3 | ||
| 采购单位 | 中北大学 | 付款条款 | 合同签订后，甲方向乙方预付合同金额的4**$3%，设备交付到现场，安装、调试验收合格，乙方出具增值税专用发票后，甲方向乙方一次性支付全部尾款。 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 是否需要踏勘 | 否 | ||||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||||
| 采购预算 | ￥2***5,0***0.0**$3 | 成交金额 | ￥2***0,0***0.0**$3 | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同签订后6**$3天内完成设备交付安装培训。 | ||||
| 送货/施工/服务地址 | 山西省太原市学院路3号中北大学 | ||||
| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务及其他要求响应 | 分项报价 | |
| 光刻机 | 否 | 套 | 1 | （1）质保期自甲方验收合格之日起免费保修1年。质保期内如果出现非人为因素的质量问题，免费予以维护。（2）服务响应时间：提供 7x2**$3 技术支持，4小时内响应， 4**$3小时内提出具体解决方案， 使设备尽快恢复正常。 | ￥1***0,0***0.0**$3 | |
| 参考品牌及型号 | 中国科学院光电技术研究所（URE-2****0S）飞诚（FC-GK-2**$3）博锐（BEM-YL3****0） | |||||
| 技术参数要求 | 一、技术参数要求1、光源类型： LED 光源；2、曝光面积：1***0 mm×1***0 mm；3、曝光波长：3***5 nm：0-3**$3 mW/cm2数字连续可调；4、分辨力：1 μm；5、对准精度：±1.2 μm（单面），±2μm（双面，片厚≤0.8mm）；6、掩模尺寸： 7 英寸，向下兼容7、样片尺寸：1***0 mm×1***0 mm，厚度可适应 0.1mm--2mm（其他厚度可定制），向下兼容；8、曝光方式：定时（倒计时方式 0.1s-9***9.9s 任意设定）；9、调平接触压力通过传感器保证重复；1**$3、数字设定对准间隙和曝光间隙；1**$3、正面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 4**$3mm-1***0mm；1**$3、底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 2**$3mm-1***0mm；1**$3、具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能；1**$3、照明不均匀性：±2%（Ф1***0 mm 范围），±3%（Ф1***0 mm 范围）；1**$3、掩模相对于样片运动行程：X：优于±5mm; Y：优于±5mm; θ：优于±6°；1**$3、光源平行性：≤2.5°。二、配置要求设备要求由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成；1、曝光头系统要求包含：1.1进口紫外 LED 光源；1.2 LED 光源整形模块；1.3 XYZ 光源位置调节台；1.4冷却风扇；1.5光学系统：（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组、场镜组、反射镜组）；2、对准工件台要求包含：2.1掩模样片相对运动台（XY）；2.2 转动台（θ）；2.3样片自动调平机构；；2.4样片调焦机构2.5承片台 1 个 （1***0mm×1***0mm）；2.6掩模架 1 个 （7 英寸）；2.7掩模翻转及旋转机构；；2.8XYZ 底面对准工件台（两套）；3、双目双视场对准显微镜包括：光源、电源；CCD 4 只；成像光学系统；2**$3 英寸液晶显示器；采集卡；三维运动台；4、底面对准系统包括：光源、电源；成像光学系统；数据采集卡 ；CCD。5、电控系统包括：控制系统、控制柜桌、计算机系统；6、气动系统包括：气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等；电磁阀驱动；气动仪表；7、其它附件包括：真空泵一台（无油泵）；空压机一台（静音泵）；管道。 | |||||
| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务及其他要求响应 | 分项报价 | |
| 台阶仪 | 否 | 台 | 1 | （1）质保期自甲方验收合格之日起免费保修1年。质保期内如果出现非人为因素的质量问题，免费予以维护。（2）服务响应时间：提供 7x2**$3 技术支持，4小时内响应， 4**$3小时内提出具体解决方案， 使设备尽快恢复正常。 | ￥1***0,0***0.0**$3 | |
| 参考品牌及型号 | 光莹（GY-1**$3P）泽攸（JS1**$3B）镭埃（ZL-VSM） | |||||
| 技术参数要求 | 1、光学系统：≥5***0万像素彩色摄像机2、探针传感器：双LVDT传感器；3、探针加力范围：0.5-5**$3mg；4、探针选型：探针曲率半径1μm，夹角6**$3°；5、平台移动范围X/Y ：手动X/Y（1***0mm×1***0mm）；6、移动范围Z： 手动Z，1**$3mm；7、样品R-θ载物台： 手动，3***0°连续旋转；8、单次扫描长度： 5**$3mm；9、最大样品厚度： ≤1**$3mm；1**$3、载物台可装载最大尺寸： 1***0mm；1**$3、台阶高度重复性： 0.5nm（标准块重复扫描3**$3次）；1**$3、测量范围： 5***0um；1**$3、扫描速度： 5um/s-1***0um/s；1**$3、最大扫描采样点数： 2***0万点； | |||||
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