铭恒PDC-MG等离子清洗机项目采购信息公开（科研仪器设备类）

中标结果广东省

公告内容

一、采购单位：医学部

二、项目名称：铭恒 PDC-MG等离子清洗机

三、公开信息：

1.设备名称：铭恒 PDC-MG等离子清洗机

2.数量：1

3.关键技术指标：1：整机规格：5***0 × 3***0 × 3***0（长 × 宽 × 高）mm 2：清洗舱规格：Φ1***5 × L2***0 mm（耐热玻璃） 3：清洗舱有效容积：4.5 L4：输入电源：2***0V / 5**$3Hz 5：整机输入功率：4***0W 6：射频输出：0～1***0W（连续可调） 7：射频频率：1**$3.5**$3 MHz 8：数字式定时器范围：0～9**$3.9**$3 min 9：极限真空度：1.3 × 1***2 Pa 1**$3：二路浮子流量计：0.2**$3.5 L/min（量程），方便二种气体按比例混合1**$3：常用工作气体：空气、氮气、氩气或混合气体

4.预算金额：5**$3,0***0.0**$3元

5.拟成交供应商：苏州中芯启恒芯片科技有限公司