当前位置：首页 > 审批项目>半导体薄膜沉积设备研发及生产项目
审批项目
安徽省
公告内容
| 项目代码 | 2****6-3注册后查看8-8**$3-0**$3-4注册后查看0 | 项目名称 | 半导体薄膜沉积设备研发及生产项目 | |
| 所属行业 | 电子 | 总投资(亿元) | 5 | |
| 建设地点 | 江苏省:无锡市_江阴高新技术产业开发区 | |||
| 主要建设规模及内容 | 新增建筑面积2注册后查看6㎡，引进原子薄膜沉积设备、颗粒物数量检测设备、SEM电镜等进口设备6台套，购置Etch刻蚀设备、物理气相沉积设备、原子薄膜沉积设备等国产设备4**$3台套，新增2**$3立方米液氮储罐1个，5立方米液氧储罐1个、5立方米液氩储罐1个、5立方米液氦储罐1个。项目完成后，形成年产5**$3台套半导体薄膜沉积设备的生产能力。 | |||
| 联系人 | 周纬 | 联系电话 | 1***6注册后查看2****1 | |
| 项目资本金(万元） | 1****4.1****7 | 项目类别 | 其他项目 | |
| 是否属于“十四五”规划 1***2项重大工程 | 否 | |||
| 推介时的项目法人性质 | 民企 | |||
| 拟引入民间资本方式 | 民资参股 | |||
| 项目回报机制 | 纯市场化经营 | |||
| 推介时项目进展 | 建成投运 | 政府支持方式 | 直接投资 | |
| 项目联系人 | 蒋园祯 | 项目联系电话 | 1***2注册后查看4****8 | |
办理结果公示
| 项目代码/项目名称 | 审批事项 | 审批部门 | 部门区划 | 审批结果 | 批复文号 | 审批时间 |
附件下载
