新型显示G6及以上大面积干法刻蚀装备研发及产业化

审批项目广东省

公告内容

备案项目编号	2504-440402-04-01-540753
项目名称	新型显示G6及以上大面积干法刻蚀装备研发及产业化
项目所在地	珠海市高新区科新二路288号
项目总投资	12000.0万
项目规模及内容	项目主要拟突破新型显示干法刻蚀多物理场等离子体模拟与设计，关键部件开发与国产化替代、干法刻蚀整机研制集成及量产验证等核心技术，并采购相关设备，实现G6及以上大面积干法刻蚀装备的研发及产业化。
建设单位	迈为技术（珠海）有限公司
备案机关	珠海高新区发展改革和财政金融局
备案申报日期	2025/04/25 14:00:33
复核通过日期	2025-04-25
项目起止年限	2025-04-01至2028-04-01
项目当前状态	办结（通过）