1 | 衬底图形化改扩建项目 | 河北省保定市高新区惠阳街369号中关村创新基地1号厂房 | 保定中创燕园半导体科技有限公司 | 河北十环环境科技有限公司 | 项目概况: 项目名称:衬底图形化改扩建项目 建设单位:保定中创燕园半导体科技有限公司 建设性质:改建(扩建) 建设地点:河北省保定市高新区惠阳街369号中关村创新基地1号厂房B座,中心地理坐标为东经115°26"05.025",北纬38°54"35.483"。 1.工程投资: 项目投资6000万元,环保投资300万元,占项目总投资 5%。 2.项目选址 本项目位于河北省保定市高新区惠阳街369号中关村创新基地1号厂房B座,中心地理坐标为东经115°26"05.025",北纬38°54"35.483",东侧由北至南依次为保定天齐生物有限公司 和十方医疗器械物流有限公司 ,西侧为惠阳街、隔街为原大边坨学校 (已搬迁),北侧为创新基地研发大厦,南侧为易度河北机器人科技有限公司 。 3.建设内容 本项目在创新基地1号厂房B座进行建设,占地面积1136m2,建筑面积2272.95m2(A、B座共计4545.90m2),其中1F用于生产,2F闲置。改扩建完成后全厂衬底图形化产能100万片,氮化铝陶瓷基板20万件,氮化铝陶瓷基板产能未发生变化。 4.公用工程 本项目排放的废气、废水、噪声等均采取相应的环保治理措施进行治理,采取的环保措施切实可行,污染物能够达标排放并符合总量控制要求;固体废物处置措施合理,不会产生二次污染;针对可能的事故风险也采取了必要的事故防范措施。 5.劳动定员和工作制度 本项目新增劳动定员30人,厂区现有劳动定员70人,本项目建成后全厂劳动定员100人,年运行365天,实行三班制,每班工作8小时。本项目不设食宿。 | 营运期环境影响分析: (一)废气:本项目大气污染物主要为PECVD生长工序产生的废生长气体、酸洗、去光阻工序产生的硫酸雾、涂胶、翻模、压印工序产生的有机废气和ICP刻蚀工序产生的刻蚀废气。根据《排污许可证申请与核发技术规范 电子工业》(HJ1031-2019)可行技术要求,PECVD废气采用“加热水洗处理设备”处理,属于可行性技术。 (二)废水:本项目生产废水主要为加热水洗处理设备和水洗处理设备废水、QDR清洗废水、洗涤塔废水、刷片、甩干废水、纯水站浓水,产生量共计25814.785m3/a。本项目加热水洗处理设备和水洗处理设备废水加生石灰沉淀去氟,QDR清洗废水和洗涤塔废水经中和装置中和后同刷片、甩干废水、纯水站浓水混合后同生活污水一并进入化粪池处理。改扩建完成后全厂废水排放浓度满足《电子工业水污染物排放标准》(GB39791-2020)表1间接排放限值要求,同时满足保定市鲁岗污水处理厂进水指标要求。 (三)噪声:本项目建成后全厂噪声污染源主要是生产设备和治理设备风机,为连续性噪声。通过选择低噪声设备,基础减振、厂房隔声、风机采用隔声罩、进出口软连接及消声等措施降噪,每季度在企业厂界四周按照《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)方法要求分别监测一次昼、夜间噪声值,企业厂界四侧噪声排放执行标准为《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准。 (四)固废:本项目产生的固体废物主要是原料检验工序产生的不合格基片,产品检测工序产生的不合格产品,涂胶工序的废光刻胶、废去边液、废胶桶、废液桶,酸洗和去光阻工序的废硫酸、废酸桶,压印工序产生的废压印板和废胶膜、AB胶搅拌工序产生的废胶桶,生石灰沉淀装置的污泥、活性炭吸附装置定期更换的废活性炭以及职工生活垃圾。一般固体废物依托现有一般固废间暂存,定期交由环卫部门处理。不合格基片、不合格产品、压印板、废胶膜等固态废物放入纸箱贮存,污泥(半固态)放入防渗塑料箱内贮存。 (五)危废:本项目危险废物使用封闭桶、密封袋等措施盛装,厂内运输采用手推车由生产车间转运至危废暂存间,运输过程地面均硬化;危废暂存间满足防风、防雨、防晒、防渗漏等要求,并设置围堰,危险废物不会泄漏出危废暂存间外,不会对周围环境造成影响。执行《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)及《危险废物收集贮存运输技术规范》(HJ2025-2012)中的相关要求。 (六)地下水和土壤:为防止对地下水的污染,按照重点防渗区、一般防渗区进行防渗处理,对防渗区应分别采取不同等级的防渗方案。 本项目总量控制指标为:SO2:0t/a、NOx:0.147t/a、颗粒物:0t/a、非甲烷总烃:0.147t/a、COD:4.972t/a、NH3-N:0.497t/a、TN:0.746t/a、TP:0.005t/a。 改扩建完成后全厂总量控制指标为:SO2:0t/a、NOx:0.147t/a、颗粒物:0t/a、非甲烷总烃:0.386t/a、COD:4.974t/a、NH3-N:0.498t/a、TN:0.747t/a、TP:0.005t/a。 |